ИНЖЕНЕРЫ
ДЛЯ ИНЖЕНЕРОВ

Россия, 124460, Москва, Зеленоград,
просп. Георгиевский, д. 5, строен. 1

+7 (499) 479 12 39 +7 (499) 479 12 39 +7 (499) 479 77 24

Продукция «НПП «ЭСТО» / Нестандартное оборудование

Отправить заявку

Установка для двухстороннего проявления негативного фоторезиста

Установка предназначена для  двухстороннего проявления негативного фоторезиста, обеспечивающая  возможность групповой  обработки в органических растворителях с вынужденными колебаниями раствора и последующий сброс растворителя с подложек, установленных в кассету методом центрифугирования в автоматическом  режиме.
Машина оснащена блоком обеспыливания, для повышения выхода годной продукции и ее качества.
Размещение и фиксация подложек осуществляется на подъемнике в технологической оснастке до 6 штук.
Перемещение подложек обеспечивается модулями вертикального и кругового перемещения.
В автоматическом режиме установка обеспечивает поочередное проявление гибких носителей  в 4 ваннах с органическим растворителем различной степени чистоты. 
Наличие таймера для выдержки подложек в ваннах с органическим растворителем.
Установка имеет возможность регулирования частоты вибрации ванн с органическим растворителем.
Ванна для органического растворителя имеет минимально-возможную площадь зеркала и объем 3 литра.
 
 
 
Установка оснащена центрифугой с электромеханическим приводом с изменяемой частотой вращения в диапазоне 0 – 1500 об/мин.
 

ОСНОВНЫЕ ТЕХНИЧЕСКИЕ ДАННЫЕ И ХАРАКТЕРИСТИКИ

№№
Наименование параметров
Значение параметров:
1.
Основные параметры назначения.
 
 
Материалы и размеры подложек :
Размер рабочего поля, мм
- фольгированные диэлектрики (и со сквозными отверстиями) 110×110
толщиной от 0,1мм;
- фольга медная ДПРНТ размером 100 × 80 толщиной 0,05 мм;
- полиимидная пленка (со сквозными отверстиями и без) диаметром
112 мм, толщиной 0,05 мм;
100×100
 
70 × 60
60 × 54
Скорость перемещения кругового модуля, град/сек
5
 
Диапазон регулировки вибрации ванн мин/макс,  Гц
10…70
 
Скорость воздушного потока блока обеспыливания, м/с
0,4
 
Освещенность рабочего поля, Лк
1000
 
Степень рециркуляции в рабочей зоне, %
70
Объем ванной для органического растворителя, мл
3000
Регулировка времени таймера,  выдержки подложек в ваннах ,
мин/макс, ч
0,00001…24
Регулировка  частоты вращения центрифуги , мин/макс, об/мин
0…1500
Ваша заявка принята!