ИНЖЕНЕРЫ
ДЛЯ ИНЖЕНЕРОВ

Россия, 124460, Москва, Зеленоград,
просп. Георгиевский, д. 5, строен. 1

+7 (499) 479 12 39 +7 (499) 479 12 39 +7 (499) 479 77 24

Продукция «НПП «ЭСТО» / Жидкие процессы литографии

Отправить заявку

Установка аэрозольного нанесения фоторезиста УАРЭС-2

Установка аэрозольного напыления предназначена для  нанесения плёнок фоторезиста ФП-9120  ТУ 6-36-00210134-121-0-96 и ФП-2550  и т.п. толщиной 0,5…5 мкм методом распыления азотом или воздухом.
 
Применение установки
  • Подложки с развитой топографией;
  • Подложки с глубоким рельефом и сквозными отверстиями;
  • «меза-структуры»;
  • Комбинированные подложки;
  • Другие нестандартные процессы нанесения вязких материалов (защита, упрочнение и т.д.)
Установка работает с неподвижными пластинами, закрепленными на вакуумном столе и на поворотном столе для нанесения фоторезиста  с двух сторон.
Управление  установкой  осуществляется в ручном и автоматическом режиме
В автоматическом режиме по программе ЧПУ.
Питание установки осуществляется от сети переменного тока 220 В, 50 Гц с нормами качества электрической энергии по ГОСТ13109-67. Максимальный потребляемый установкой ток по фазам не более 5 А.
Установка обеспечивает работу при подаче азота газообразного ГОСТ 9293-74 давлением 0.5*1053*105 Па (0.53 кгс/см»), точка росы минус 60 оС и очищенного сжатого воздуха при давлении (0.5...3)х105 Па(0.5...3) кгс/см», точка росы минус 60 оС;
 
Для размещения установки на месте её эксплуатации необходимы:
  • площадь 6 м3 без фундамента.
  • вытяжная вентиляция с расходом воздуха не менее 600  м3/ч.
  • контур заземления.
 
ТЕХНИЧЕСКИЕ ДАННЫЕ
Питание установки………………………………………………………..……………. 220В, 50Гц
Распыляемое вещество: ………..………………...…жидкости с вязкостью от 1 до 17 сантипуаз
Средний диаметр капель, мкм., не более ….………………………………………………… 0.5-2
Вероятность попадания размера капли в интервал от 0.5 мкм до 10 мкм, % 99,9
Максимальная производительность распыления фоторезиста, мл/с……………………….....1,2
Количество пластин, обрабатываемых за один цикл, шт. ………………………………...….….4
Размеры обрабатываемых пластин, мм……………………………..… 50мм 76мм 100мм 150мм
Максимальная частота вращения карусели об/мин……………………………………………100
Количество подаваемых (неагрессивных) газов, шт.……………………………………………..2
Максимальный расход подаваемых рабочих газов по каждому  каналу, л/час……………….10
Давление подаваемых газов на входе в установку, атм.………………………………….…0.5...3
Тип газов, подаваемых в камеру при работе………………………………..………...азот, воздух
Управление технологическим процессом……………………………………….  автоматическое
Число координат……………………………………………………………………….……. четыре
Ваша заявка принята!