ИНЖЕНЕРЫ
ДЛЯ ИНЖЕНЕРОВ

Россия, 124460, Москва, Зеленоград,
просп. Георгиевский, д. 5, строен. 1

+7 (499) 479 12 39 +7 (499) 479 12 39 +7 (499) 479 77 24

Продукция «НПП «ЭСТО» / Для термических процессов

Отправить заявку

Система плазменной обработки PE-200

PE-200 полностью автономна и требует минимального свободного пространства. Система состоит из рабочей камеры, электронной схемы управления, РЧ генератора, автоматической схемы согласования и внешнего вакуумного насоса. 

Рабочая камера изготовлена из алюминия, что облегчает ее эксплуатационные характеристики и процесс очистки. Большое количество съемных держателей могут легко настраиваются таким образом, чтобы обеспечить оптимальное расположение изделий в камере.

Плазменная очистка, активация поверхности и адгезия. PE-200 используется для широкого ряда применений (очистка, активация, адгезия) в области микроэлектроники, производстве полупроводников, корпусировании и сборки, а также производителями медицинского оборудования.

Система работает с большим разнообразием технологических газов, включая аргон, кислород, водород, гелий. В комплект системы включены два (2) электронных контроллера расхода газа, еще 2 доступны как дополнительная опция.

ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ
 
  • Сварные алюминиевая (6061 T6) вакуумная камера размером 430х430х360 мм.
  • Три горизонтальных электрода с рабочей зоной 330х400 мм на расстоянии 76 мм.
  • ВЧ-генератор 600Вт, 13.56МГц, твердотельный, автоматическая настройка.
  • Два регулятора расхода газа (РРГ) MKS 0-200 SC CM, два газовых каналов.
  • ПК для автоматизированного управления системой PE200, с фирменным программным обеспечением компании Plasma Etch для полностью автоматической работы системы, хранения рецептов технологического процесса и выполнения других функций.
  • Сухой вакуумный насос Edwards XDS-35i, 21 CFM.
  • Термопара вакуумметр, 0-1 Торр.
  • Цифровые измерительные приборы.
  • Габаритные размеры системы: 890х790х790 мм.

ОСОБЕННОСТИ СИСТЕМЫ УПРАВЛЕНИЯ (СУ).

  • ОС Microsoft Windows,совместимая с СУ для систем плазменной обработки.
  • Портативный ПК с цветном графическим дисплеем.
  • Интуитивно понятное программное обеспечение для плазменных процессов.
  • Процесс сбора данных (текстовых и CSV файлов).
  • Жесткий диск для копирование отчетных данных и записи.
  • Процесс архивации данных (SPC-совместимый).
  • Экранное Процесс Тенденции и архивация.
  • События / Сигналы - Мониторинг / Просмотр.
  • Хранение Рецептов технологического процесса (ограничено только объемом жесткого диска).
  • НастраиваемоеПО управления для (до 3x5 газовой матрицы).
  • Удобный графический интерфейс.
  • Печать (опция).
  • Считывания штрих-кода (опция).

Ваша заявка принята!