Продукция
- Нестандартное оборудование
- Жидкие процессы литографии
- Лазерное оборудование
- Вакуумное оборудование
- Сборочное оборудование
- Для оптической литографии
- Сборочное оборудование и материалы
- Жидкие процессы литографии
- Измерительное
- Для оптической литографии
- Для высшей степени очистки газов
- Вакуумное
- Для герметизации корпусов
- Для изготовления и обработки подложек
- Для термических процессов
- Ионные имплантеры
- Микроскопы
- ВЧ-генераторы
- Для атомно-слоевого осаждения
- Компрессоры
Российское оборудование
Зарубежное оборудование
Продукция «НПП «ЭСТО» / Измерительное
RMS-EL - система четырехточечного зондового измерения
Комплектация и технические характеристики
Multiheight Probe – Предметный стол-основание с механизмом перемещения по высоте и цилиндрической измерительной головкой - автоматическое перемещение по оси Z (опция).
Multiposition Stage – Предметный стол с точной регулировкой по оси X
- Изменяемая высота, чтобы измерять образцы от тонких слоев до слитков.
- Уровень работы измеряющей головы с переключаемым током, чтобы предотвратить замыкание.
- Образцы измерения высотой до 200 мм.
- Ширина образца, ограничена только размером рабочего столика.
Источник постоянного тока и цифровой вольтметр RM3000
Вырабатывает постоянный ток между 10nA и 99.99mA, и измеряет напряжения от 0.01mV до 1250 милливольт.
Диапазон измерения:
1 мОм/□ до 500 МОм/□ (поверхностное сопротивление), где □ – площадь пленочного резистора квадратной формы любых размеров.
1 мОм*см до 1 Мом*см (объёмное удельное сопротивление)
Единица измерения: мВ, Ом/площадь, Ом*см
Встроенная память: 50 показаний
Программное обеспечение: для операции и чтения результатов поставляется бесплатно
Автодиапазон: определяет соответствующие текущие параметры настройки
Ток: обратимый для проверки хороших контактов и измерений
Точность: 0.3 %, самая высокая точность 0,1 %
Возможность введение данных по толщине подложки и интервал измерений.
Соединение: USB или RS-232