ИНЖЕНЕРЫ
ДЛЯ ИНЖЕНЕРОВ

Россия, 124460, Москва, Зеленоград,
просп. Георгиевский, д. 5, строен. 1

+7 (499) 479 12 39 +7 (499) 479 12 39 +7 (499) 479 77 24

Продукция «НПП «ЭСТО» / Для изготовления и обработки подложек

Отправить заявку

Revasum 7АА-II

7AA-II Revasum используется для двусторонней шлифовки-полировки и утонения резаных пластин из различных материалов, в том числе:
• SiC
• InP
• GaAs
• Сапфир
• PZT
• LiNbO3
• Кварц
• Стекло
• Другие
 
 
 
 
 
 
 
• Универсальная двойная шлифовальная конструкция: один рабочий столик, один двойной шлифовальный шпиндель (оснащенный крупнозернистым шлифовальным кругом и шлифовальным кругом чистовой обработки)
• Для подложек от 75 до 150 мм
• Компактный размер
• Простое управление при помощи сенсорного экрана
• Низкая стоимость владения

• Доступны автоматизированные и ручные конфигурации
• Обратная связь по толщине пластины в процессе обработки
• Технология адаптивной силы шлифования
• Автоматическая настройка высоты по оси Z
 
Эффективность шлифовки (на примере утонения кремниевой пластины Ø150мм):
Разнотолщинность (TTV): менее 3 мкм
Финишная обработка поверхности: 80 Å

 



Ваша заявка принята!