Главная
ПродукцияЗарубежное оборудованиеДля изготовления и обработки подложекПолуавтоматическая прецизионная установка шлифования пластин MPS R400DS
Продукция
- Нестандартное оборудование
- Жидкие процессы литографии
- Лазерное оборудование
- Вакуумное оборудование
- Сборочное оборудование
- Для оптической литографии
Российское оборудование
Зарубежное оборудование
Продукция «НПП «ЭСТО» / Для изготовления и обработки подложек
Отправить заявку
Полуавтоматическая прецизионная установка шлифования пластин MPS R400DS
Серия установок MPS R400 была сконструирована с использованием последних разработок в области технологии шлифования и эргономики. Полностью защищенная рабочая зона удовлетворяет всем условиям окружающей среды для работы оператора и снижает риск загрязнений рабочей области. Данный принцип был разработан и усовершенствован для максимальной точности обработки металлов, кремния и других полупроводниковых материалов в условиях мелкосерийного производства и научно-исследовательских работах.
В основном установка MPS R400DS применяется для шлифовки пластин из кремния и арсенида галлия диаметром от 50 мм до 150 мм.
Технические характеристики:
- Два шлифовальных круга на одном шпинделе
- Не требуется смена кругов для чернового и чистового шлифования
- Полностью закрытая рабочая зона
- Алмазные шлифовальные круги
- Программируемый логический контроллер
- Блок измерительных приборов
- Автоматические программы
- Вакуумные держатели
| Двигатель | 3.7 кВт |
| Скорость шпинделя | 2850 об/мин |
| Общая мощность | 5,5 кВт |
| Точность | 2 мкм |
| Шлифовальный круг | 200х34х76 мм |
| Вращающийся стол | 400 мм |
| Скорость вращения стола | 0-30 об/мин |
| Вакуумные держатели | 28x2”, 16x3”, 8x4”, 5x5”, 4x6” |
|
Подача Диапазон Минимальный шаг |
170 мм 1 мкм |
| Вес | 980 кг |
| Занимаемая площадь | 1550х1130 мм |
