ИНЖЕНЕРЫ
ДЛЯ ИНЖЕНЕРОВ

Россия, 124460, Москва, Зеленоград,
просп. Георгиевский, д. 5, строен. 1

+7 (499) 479 12 39 +7 (499) 479 12 39 +7 (499) 479 77 24

Продукция «НПП «ЭСТО» / Вакуумное

Отправить заявку

PlasmaPro-100PECVD

Плоскопараллельный (планарный) реактор емкостного типа для осуществления процессов плазменно активированного нанесения диэлектрических слоев (PECVD), включая TEOS.

  • Частота возбуждения разряда 13,56 МГц
  • Опция смеси частот для контроля напряжений в наносимых слоях
  • Неоднородность < 5% (150 мм)
  • Интегрированная автоматическая согласующая система
  • Окошко для in-situ мониторинга 

Верхний ВЧ электрод (емкостной разряд)

  • Частота задающего генератора источника 13,56 МГц, максимальная мощность источника 300 Вт
  • Предварительная установка и управление величиной передаваемой мощности
  • Автоматическая согласующая цепь

 

 

 

Электрод держателя подложки 

  • Частота ВЧ смещения подложки от 50 до 460 кГц при максимальной мощности до 600 Вт
  • Автоматический контроль интервала переключения частот кГц/МГц диапазона
  • Пластина/держатель диаметром 150 мм
  • Зажим не более 5 мм по краю образца
  • Гелиевое охлаждение обратной стороны пластины 
  • Динамический контроль температуры держателя до 400 С

Вакуумная система антикоррозионная

  • Насос типа Рутса (Alcatel RSV 301 B) с двойным роторным насосом предварительной откачки. антикоррозионное исполнение, электрический подогрев труб.
  • Запорный клапан типа VAT
  • Регулирующий скорость откачки клапан типа VAT
  • Датчик давления емкостной мембранный на 2 Тор (266 Па) 
  • Откачной фланец диаметром 150 мм

Газовая система

Газовый короб состоит из MFC (датчик массового расхода потока газа) и отсечных клапанов. Система располагается в реакторном модуле рядом с камерой и может продуваться азотом для очистки.

Газовая панель включает 5 газовых линий, каждая из которых оборудована фильтром и управляется датчиком массового расхода (MFC).

Газы: 

  • SiH4, N2O, NH3, CF4, N2
  • Система подачи паров из жидкого источника (TEOS) включает контроль температуры нагревателя и массовый расходомер газа

Вакуумный загрузочный шлюз 

С загрузчиком 150 мм пластин и держателей

Загрузочный шлюз соединён с камерой реактора прямоугольным вакуумным затвором. Он оборудован транспортировочным механизмом и прозрачной крышкой. Загрузка и выгрузка выполняется автоматически. 

  • Материал камеры реактора – алюминиевый блок
  • Вакуумный насос (15 м3/ч), манометр Пирани

Управление

  • ПК на базе Windows 7
  • Управление на основе Программируемых Логических Контроллеров (PLC)
  • Монитор (19”), клавиатура, мышь
  • LAN карта
  • DVD/CDRW драйв
  • Функция автоматического контроля утечки и калибровки газовых расходомеров
  • Функция автоматической установки нуля емкостного вакууметра (манометра)
  • 5 уровней паспортного кода: системный менеджер, пользователь, обслуживание, производство, только смотреть
  • Функция детектирования окончания процесса очистки камеры ректора
Ваша заявка принята!