ИНЖЕНЕРЫ
ДЛЯ ИНЖЕНЕРОВ

Россия, 124460, Москва, Зеленоград,
просп. Георгиевский, д. 5, строен. 1

+7 (499) 479 12 39 +7 (499) 479 12 39 +7 (499) 479 77 24

Продукция «НПП «ЭСТО» / Для атомно-слоевого осаждения

Отправить заявку

ALD система PICOSUN R-200

Оборудование PICOSUN для АСО.

R-серия обладает уникальным дизайном двойной камеры с горячими стенками и верхней подачей прекурсоров, что обеспечивает напыление АСО пленок высочайшего качества с превосходной однородностью даже на самых сложных структурах, таких как образцы со сквозными порами, углубления со сверхвысоким соотношением геометрических размеров или порошки наночастиц. Наши высокофункциональные и легкосменные источники прекурсоров для жидких, газообразных и твердотельных химикатов обеспечивают беспримесные технологические процессы для широкого спектра материалов на подложках, трехмерных объектах и образцах, обладающих наноразмерными особенностями.

Превосходная однородность пленок получена с помощью технологических процессов АСО и плазмостимулированного АСО (ПАСО) на инструментах Picosun. Размер подложек 6 дюймов (150 мм), усреднение по 49 точкам.

 

Материал

Неоднородность (1σ)

Одиночный (О)

/ пакетный (П)

процесс

AI2O3

0.13 %

П

SiO2

0.77 %

П

TiO2

0.28 %

О

ZnO

0.94 %

О

Ta2O5

1.0 %

О

HfO2

1.83 %

О

Pt

3.41 %

О

TiN

1.10 %

О

 

Установка для АСО плёнок PICOSUN R-200 Standard

Технические характеристики:

Основные характеристики

Тип и размер подложки

50 – 200-мм одиночные подложки
Мини-партия из подложек до 150-мм
156 мм x 156 мм кремниевые подложки для фотовольтаики
Трехмерные объекты
Порошки и частицы
Сквозные пористые образцы и образцы, имеющие углубления со сверхвысоким соотношением геометрических размеров

Рабочая температура

50 – 500 °C, более высокие – по требованию

Возможные варианты загрузки образцов в реакционную камеру

Пневматический подъемник (ручная загрузка)

Загрузочный шлюз с магнитным манипулятором

Прекурсоры

 

Жидкие, твердотельные, газообразные, озон
До 6 источников с 4 отдельными вводами

Вес и размеры

Вес

350 кг

Размеры (Ш x В x Г)

Зависит от дополнительного оборудования
Минимальный: 146 см x 146 см x 84 см
Максимальный: 189 см x 206 см x 111 см

Вспомогательные системы

Источник питания

200-240 VAC, однофазное, 50/60 Гц
Предохранитель 1 x 16 А
Потребляемая мощность зависит от дополнительного оборудования

Вакуумный насос

Рекомендация мин. 100 – 420 м3/час, механическая ловушка частиц и дожигатель включены

Несущий газ

99.999 % N2 / Ar, мин 2 стд.л/мин

Сжатый сухой воздух

4 – 5.5 бар избыточного давления

Охлаждающая вода

Требуется только для безмасляного вакуумного насоса, не требуется для реактора

Выхлоп

Необходим для вакуумного насоса и корпуса инструмента

Дополнительное оборудование

Устройство PICOFLOW™ для улучшения диффузии, кварцевый кристаллический микробаланс (QCM), анализатор остаточных газов (RGA), генератор N2, газоочистное устройство, разработка дизайна инструмента по требованию заказчика, совместимость с перчаточным ящиком для загрузки образцов из инертной среды

 

Установка для АСО плёнок PICOSUN R-200 Advanced

Технические характеристики:

Основные характеристики

Тип и размер подложки

50 – 200-мм одиночные подложки
Мини-партия из подложек до 150-мм
156 мм x 156 мм кремниевые подложки для фотовольтаики
Трехмерные объекты
Порошки и частицы
Сквозные пористые образцы и образцы, имеющие углубления со сверхвысоким соотношением геометрических размеров

Рабочая температура

50 – 500 °C, более высокие – по требованию

Возможные варианты загрузки образцов в реакционную камеру

Пневматический подъемник (ручная загрузка)
Загрузочный шлюз с магнитным манипулятором
Полуавтоматическая загрузка с помощью погрузочно-разгрузочного манипулятора
Покассетная загрузка в кластерных инструментах

Прекурсоры

 

Жидкие, твердотельные,
газообразные, озон, плазма

Вес и размеры

Вес

350 + 200 кг

Размеры (Ш x В x Г)

Зависит от дополнительного оборудования
Минимальный: 146 см x 146 см x 84 см
Максимальный: 189 см x 206 см x 111 см

Вспомогательные системы

Источник питания

400 VAC, трёхфазное с нейтралью или 200-210 V трёхфазное, 50/60 Гц
Предохранители 3 x 16 А
Потребляемая мощность зависит от дополнительного оборудования

Вакуумный насос

Рекомендация мин. 100 – 420 м3/час, механическая ловушка частиц и дожигатель включены

Несущий газ

99.999 % N2 / Ar, мин 2 стд.л/мин

Сжатый сухой воздух

4 – 5.5 бар избыточного давления

Охлаждающая вода

Требуется только для безмасляного вакуумного насоса, не требуется для реактора

Выхлоп

Необходим для вакуумного насоса, шкафов с источниками

Дополнительное оборудование

Устройство PICOFLOW™ для улучшения диффузии, кварцевый кристаллический микробаланс (QCM), анализатор остаточных газов (RGA), генератор N2, газоочистное устройство, разработка дизайна инструмента по требованию заказчика, совместимость с перчаточным ящиком для загрузки образцов из инертной среды

Ваша заявка принята!