ИНЖЕНЕРЫ
ДЛЯ ИНЖЕНЕРОВ

Россия, 124460, Москва, Зеленоград,
просп. Георгиевский, д. 5, строен. 1

+7 (499) 479 12 39 +7 (499) 479 12 39 +7 (499) 479 77 24

Продукция «НПП «ЭСТО» / Для термических процессов

Отправить заявку

Диффузионные печи серии 2400, 2600 и 2800

Область применения

Модели 2400, 2600 и 2800 диффузионных минипечей от компании Thermco могут иметь до четырех рабочих камер и предназначены для производства подложек для полупроводников, фотогальванических элементов, светодиодов, нано и микроэлектромеханических систем диаметром до 200 мм. Модели различаются только размером подложек, которые они могут обрабатывать: в печах модели 2400 можно обрабатывать подложки диаметром до 100 мм, в печах модели 2600 – до 150 мм и в печах модели 2800 можно обрабатывать подложки размером до 200 мм. В каждой камере могут быть размещены технологические трубы диаметром до 251. Основная станина печей совместима со станциями загрузки, камерами источника Thermco и определенными типами компонентов автоматизации, такими как загрузочные механизмы с манипуляторами и транспортерами, подающими лотки в эти загрузочные механизмы. Основная станина печи совместима со всеми загрузочными министанциями и камерами источника серии 2000. Уменьшенное конструктивное исполнение не влияет на качество продукции и оно остается таким же как у полномасштабных производственных систем. При этом, минисистемы занимают меньше места и, соответственно, обладают меньшей производительностью, поэтому они идеально подходят в качестве дополнения к основным производственным мощностям или для лабораторий. 

Система управления

Система управления печи построена на базе контроллера Thermco TMX, являющемся лидером в этой отрасли и признанным одним самых гибких и надежных управляющих устройств для печей с тысячами функциональных узлов. Контроллер TMXPC сочетает в себе проверенные рецепты и форматы системы управления прежнего поколения устройств TMX, которые уже хорошо зарекомендовали себя среди пользователей, и улучшенную графическую функциональность на обновленной и очень надежной компьютерной аппаратной базе. Система управления включает один компьютер MUX для генерирования рецептов и просмотра состояния и один управляющий компьютер на каждую трубу.

Разработанные процессы:

  • Азотирование кремния (стандартное)
  • Азотирование кремния (с пониженным внутренним напряжением)
  • Отжиг поликремния с повышением температуры
  • Однообразное гранулирование поликремния
  • TEOS
  • VLTO
  • BPSG
  • Высокотемпературное окисление (НТО)
  • Сухое окисление
  • Окисление в атмосфере
  • POCI3 или BBr3
  • Отжиг водородом (со 100% Н2)
  • Высокотемпературная обработка
  • Сплав или низкотемпературный отжиг
  • Отжиг водородом (со 100% Н2)
Физическое описание
 
Материалы и конструкция
 
Основная станина печи сварная и изготовлена из холоднокатаной стали, покрытая специальной промышленной эмалевой краской на водной основе. Части и компоненты подвергаемые воздействию повышенной температуры изготовлены из нержавеющей стали. Для уменьшения температуры корпуса печи снаружи до температуры окружающей среды, изнутри ее стены имеют слой из огнеупорного материала с отражающим покрытием.
 
В качестве датчиков температуры используются термопары типа R и B, которые фиксируются в отверстиях печи специальными зажимами и герметизируются. Специальные манжеты, защищающие от пыли, и оконечные пластины обеспечивают надежную теплоизоляцию между технологической трубой и торцевыми кожухами на обеих сторонах трубы.
 
Для каждого уровня технологической трубы на конце рабочей камеры печи поглотитель отработанных газов из нержавеющей стали 305 х 305 мм круглого или квадратного сечения. Для повышения устойчивости к коррозии непрерывные сварные швы поглотителя пассивированы. Поглотитель может соединяться с любым вытяжным пленумом пользователя. Каждый пленум включает регулируемый глушитель и дифференциальный манометр для регулировки и контроля давления выхлопа.
 
Общие размеры
 
Печь Загрузочная станция Камера источника
Длина 1650 мм Длина 1650 мм Длина 1403 мм
Глубина 737 / 1169 / 1469 мм (24/26/28) Глубина 980 мм Глубина 914 мм
Высота 2279 мм (2404) Высота 1943 мм (2404) Высота 2259 мм (2404)
Высота 2650 мм (2604) Высота 2349 мм (2604) Высота 2554 мм (2604)
Высота 2699 мм (2804) Высота 2699 мм (2804) Высота 2699 мм (2804)
 
Размещение основных узлов
 
В нижней части печи размещаются развязывающие трансформаторы, автоматические выключатели, тиристорные запальные цепи, теплоотводящие модули, охлаждающие вентиляторы и силовые кабеля. В верхней камере располагаются элементы корпуса и каркаса установки с силовыми кабелями, кабелями термопар и клеммными блоками. Теплообменник с водяным охлаждением, который охлаждает воздух печи перед тем как его вернуть в помещение, располагается в верхней части камеры. Вентиляторы мощностью 7 м3/мин, которые нагнетают воздух в печь из нижней части через область трубы и сверху через теплообменник, размещены над теплообменником.
 
Совместимые модули
  •  модуль ламинарного потока станции загрузки, модель 5000LS
  •  механизмы загрузки лотков, модели D1 и D2
  •  модуль камеры газа/источника, модель 5000SC
  •  компьютерные модули управления TMX, TMXPC и PCMux
* размеры могут меняться в зависимости от условий установки и требований заказчика
 
Технические характеристики
 
Диапазон рабочих температур: От 50 до 1200 °С Зона единообразного нагрева с расходом газа до 15 л в минуту в зависимости от количества загрузки подложек и экранирование/отклонение потока на конце загрузки технологической трубы
 
Зона равномерной температуры для всех трех моделей - до 305 мм в зависимости от текущей температуры.
 
Серии 2400/2600 750 - 1250°C (305 мм) 300 - 750°C (254 мм)
Серия 2800  750 - 1250°C (305 мм) 400 - 750°C (254 мм)

 

Скорость выхода оборудования в рабочий режим при холодном старте

Средняя скорость выхода в рабочий режим 15°C в минуту.

Скорость охлаждения

Печь охлаждается с 1200 до 900°C линейно со скоростью не менее 3°C в минуту

Долгосрочная стабильность

Стабильность температуры печи +/- 0,25 °C или лучше.

Восстановление

С загрузкой 7500 г стандартная стабильная зона при 900 °C возникает в течение 18 минут

Быстрый отклик

Ступенчатые изменения 100 °C могут быть сделаны без внесения изменений в настройки и с минимальным воздействием на однообразие зоны нагрева.

Взаимодействие между трубами

Воздействие труб друг на друга не более ± 01°C благодаря термопаре с компенсацией спая и уникальной охлаждающей системе прямой конвекции.

Система управления PC-MUX с контроллером периферийных устройств

PC-MUX представляет собой четвертое поколение широко известных контроллеров TMX, которое было разработано в ответ на требования пользователей иметь надежную и многофункциональную систему управления на базе ПК. Основные характеристики:

  • высокая надежность аппаратной части ПК промышленного применения;
  • графический интерфейс пользователя с единой страницей управления всеми основными функциями;
  • расширенная функциональность рецептов
  • сохранение всех переменных технологического процесса и системных событий;
  • совместимость с предыдущими версиями TMX и возможностью импорта рецептов из них;
  • подробный анализ на основе статистического контроля данных технологического процесса, а именно:
 вычисление среднего, минимального, максимального и стандартного отклонения;
-   графики, отображающие воспроизводимость процесса;
-   циклограммы процесса с аварийными и предупреждающими сигналами автоматической системы;
-   совмещение (огибающая) графиков с аварийными и предупреждающими сигналами автоматической системы;
-   анализ системных событий по методу Парето;
-   гистограмма системных событий.

 
Ваша заявка принята!