ИНЖЕНЕРЫ
ДЛЯ ИНЖЕНЕРОВ

Россия, 124460, Москва, Зеленоград,
просп. Георгиевский, д. 5, строен. 1

+7 (499) 479 12 39 +7 (499) 479 12 39 +7 (499) 479 77 24

Продукция «НПП «ЭСТО» / Лазерное оборудование

Отправить заявку

МЛ5-2 - станок для автоматической подгонки

Назначение:

Выполнение операций ручной, полуавтоматической и автоматической лазерной подгонки резисторов, выполненных по тонкопленочной или толстопленочной технологии на подложках из поликора, ситалла, керамики.

В отличие от «ручной» подгонки машина позволяет автоматизировать и ускорить процесс подгонки под управлением компьютера, обеспечивая автоматическое позиционирование и установку зондов на контактные площадки ГИС или подложки и автоматическую подгонку по заданным траекториям реза.

Позиционирования пятна и выполнение подгоночного реза обеспечивается прецизионной XY кинематической системой (координатный стол или 2-х осевой гальваносканер). Размещение и фиксация подложки осуществляется на предметном столе. Каждый из 2-х зондов устанавливается на управляемом от компьютера XY координатном столе с Z-микролифтом.

В машине используется иттербиевый волоконный лазер нового поколения.

Измерения обеспечиваются развязанной от всех блоков Цифровой Измерительной Системой (ЦИС), выполненной на основе 14-разрядного АЦП и сигнального процессора для скоростной цифровой первичной обработки. Прикладное программное обеспечение (ПО) работает в среде Windows XP и позволяет осуществлять  измерение и подгонку, загрузку, обработку и выполнение файлов-заданий (целевые номиналы резисторов и допуски, технологические параметры для лазера и сканера) и обеспечивает распечатку Протокола-отчета по подгонке в заданном формате, осуществляет контроль и самодиагностику системы в процессе работы.

Машина снабжена механизмами ручной подстройки положения подложки относительно лазерного пятна. 

Состав:

  • Виброустойчивый каркас для установки кинематической системы, предметного стола, зондов и  лазерного излучателя;
  • Предметный стол с элементами фиксации и подстройки положения подложки (изделия, ГИС);
  • Оптическая система с  ТВ камерой визуального контроля;
  • Иттербиевый волоконный лазер с диодной накачкой;
  • Управляемая от компьютера кинематическая система для перемещения зондов;
  • Блоки питания и управления машины;
  • Цифровая измерительная система (ЦИС);
  • Компьютер управляющий в конфигурации МЛ-5 с ЖКИ-монитором;
  • Многоканальная система регулируемого освещения;
  • Прикладное ПО ML52 (Программа прецизионной подгонки);
  • Комплект ЗиП и Эксплуатационно-Технической Документации (ЭТД).

Технические характеристики:

Технические параметры координатной системы

Диапазон сопротивлений подгоняемых резисторов, Ом.
Допускаемая основная погрешность контроля резистора Rx (ДОП) при подгонке, %:
в диапазоне  1,0…9,99 Ом, %, не хуже
в диапазоне  10…9,99×104 Ом, %, не хуже
в диапазоне  1х105…9,99×105 Ом, %, не хуже
в диапазоне  1х106…9,99х106 Ом, %, не хуже

1,0-107

 .
±[0.1+0.02(R/Rx-1)]
±[0.1+0.005(R/Rx-1)].
±[0.1+0.01(R/Rx-1)].
±[0.3+0.02(R/Rx-1)]

Допускаемая дополнительная погрешность (ДДП) измерений, вызванная изменением напряжения питания на ±10% от номинала

не превышает ДОП в выбранном диапазоне

Максимальное обрабатываемое рабочее поле (макс. размер подложки)

до 60х50 мм

Скорость перемещения луча (линейная, при f=160 мм)
- мин/макс, мм/сек
- номинальная при подгонке или просмотре, мм/сек

 
0,01-400
0,1-100

Расчетный шаг перемещения (для  f=160 мм), мкм

1,0

Геометрия (задаваемая траектория реза) при автоматической подгонке

I, L, J, W

Параметры цифровой измерительной системы

Разрядность АЦП

14 бит

Диапазон входных сигналов (переключаемый)

±10В…±0.15625В

Типы входов

дифференциальные

Максимальная частота преобразования

400 кГц

Интегральная и дифференциальная нелинейность

макс. ±1.5 МЗР

Параметры оптической системы

Фокусное расстояние базового объектива, мм

160

Размер пятна излучения в зоне обработки, мкм

20-40 (зависит от материала)

Параметры лазерного излучателя

Тип лазера

Иттербиевый волоконный

Длина волны излучения, мкм

1.06-1.07

Мощность излучения, Вт

0,1-10

Частота модуляции, кГц

20–50

Ваша заявка принята!