ИНЖЕНЕРЫ
ДЛЯ ИНЖЕНЕРОВ

Россия, 124460, Москва, Зеленоград,
просп. Георгиевский, д. 5, строен. 1

+7 (499) 479 12 39 +7 (499) 479 12 39 +7 (499) 479 77 24

Продукция «НПП «ЭСТО» / Ионные имплантеры

Отправить заявку

Ионный имплантер IMX-3500, Япония

Характеристики:

  • Максимальная энергия 200 KeV
  • Возможность переход к расширенному видов ионнов
  • Простота эксплуатации
  • Мелкая занимаемая площадь -8.5м2
  • Универсален для различных размеров подложек
  • Возможем переход к массовому производству с поддержкой газов 

Особенности IMX-3500:

  • Расходные детали и материалы такие же, что у систем ионной имплантации для массового производства
  • Простота эксплуатации
  • Универсальность для различных видов R&D процессов
  • Эффективен для различных видов производств и маленьких предприятий
  • Тип испарителя ионного источника для имплантации B, P, As и др.
  • Возможность перехода на специальные газы (опция)
  • Механизм минимизации рентгеновского излучения в компактном корпусе
  • DIW используется для изоляции модуля охлаждения
  • Низкие эксплуатационные расходы 
 
 
 
 
Основные характеристики IMX-3500.
 
 
План размещения IMX-3500.
 
IMX-3500 HV Терминал.
 
 
 
Система электронного луча IMX-3500.

 
 
 
Схема сканирования ионного пучка.
 
 
Плита.
 
Ваша заявка принята!