ИНЖЕНЕРЫ
ДЛЯ ИНЖЕНЕРОВ

Россия, 124460, Москва, Зеленоград,
просп. Георгиевский, д. 5, строен. 1

+7 (499) 479 12 39 +7 (499) 479 12 39 +7 (499) 479 77 24

Продукция «НПП «ЭСТО»

Вакуумное

PlasmaPro-100PECVD

Назначение:

Установка с планарным реактором для низкотемпературного нанесения диэлектрических пленок высокого качества и контролируемым знаком и уровнем внутренних напряжений. Производитель оборудования - Oxford Instruments Plasma Technology.

ei-5

Назначение:

Установка электронно-лучевого распыления модель ei-5 (ULVAC, INC., Япония) для массового полупроводникового производства.

NE-550

Назначение:

Система ионно-химического травления NE-550 (ULVAC, INC., Япония) для массового полупроводникового производства.

SIH-300RD

Назначение:

Система напыления металлических пленок SIH-300RD (ULVAC, INC., Япония) для массового полупроводникового производства.

Установка Polyteknik двустороннего магнетронного напыления Discovery 501 Dual Side

Назначение:

Мелкосерийное производство с использованием метода осаждения сложных многослойных структур. Производитель оборудования - Polyteknik AS, Дания.

Установка Polyteknik электро-лучевого распыления Explorer 500 GLAD

Назначение:

Получение наноструктур с контролируемыми свойствами и параметрами, с использованием метода осаждения под скользящим углом. Производитель оборудования - Polyteknik AS, Дания.

Установка Polyteknik электронно-лучевого распыления EXPLORER 700

Назначение:

Получение сплавных слоев из высокочистых материалов совместным осаждением испаряемого материала от двух электронно-лучевых источников. Производитель оборудования - Polyteknik AS, Дания.

Системы Polyteknik Infinity «С рулона на рулон»

Назначение:

Производитель оборудования - Polyteknik AS, Дания.

Установки для вакуумного напыления пленок

Развитие высоких технологий и электронной техники напрямую зависит от усовершенствования вакуумных процессов, по этой причине именно вакуумные установки вызывают особенный интерес в сферах микроэлектроники и нанотехнологий. Покрытия, которые наносятся с их помощью, бывают однослойными или же комбинированными на основе любых металлов и соединений металлов (нитриты, оксиды, карбиды). Установки для нанесения напылений различаются между собой технологиями производства. Итак, существуют следующие методики:

  • электродуговое напыление;
  • магнетронное распыление;
  • ионно-плазменное напыление;
  • термовакуумное напыление;
  • термическое испарение.

Вакуумные технологии имеют гибкое применение и позволяют осуществлять замену дефицитных или дорогостоящих материалов на более доступные, пригодны для полной автоматизации и обеспечивают высокое качество материалов покрытий.

Новые возможности напыления

Напыление — сложный, но, с технологической точки зрения, очень интересный процесс, который представляет собой равномерное осаждение по металлу или иной поверхности изделия тончайшего слоя заданного вещества. Преследуемая цель – придание изделию дополнительной прочности, электропроводности, износоустойчивости или красивого внешнего вида. Напыление металлов осуществляют, используя такие вакуумные технологии как:

  • магнетронные,
  • ионно-пучковые,
  • электронно-лучевые,
  • газоразрядные распылительные,
  • термические методы.

Электронно-лучевое напыление

Электронно-лучевое напыление (металлизация) представляет собой метод нанесения слоев исходного металла в тигле и испаряет его в вакуум. Затем пары металла осаждаются на целевой поверхности. Метод электронно-лучевого испарения позволяет наносить практически любые металлы, поскольку не требует расплавления всего объема исходного металла, как при резистивном нагреве.

Плазмохимическое и ионно-химическое травление

В нашей компании вы также можете приобрести установки для плазмохимического и ионно-химического травления.

Плазмохимическое травление — химическая реакция между химически активными частицами и поверхностными атомами материала.

Ионно-химическое травление — физико-химический процесс, происходящий при низком давлении газов и значительной энергии бомбардирующих поверхность положительных ионов. Поверхностный слой удаляется при помощи физического распыления ионами, а также в результате продуктов химической реакции между активными частицами и поверхностными атомами. Все установки соответствуют стандартам качества, удобны и просты в эксплуатации.

Купить оборудование для нанесения покрытий при производстве полупроводников и проводников, представленное в этом разделе, можно в компании «ЭСТО». О ценах и условиях поставки продукции справляйтесь у наших менеджеров.

Ваша заявка принята!