ИНЖЕНЕРЫ
ДЛЯ ИНЖЕНЕРОВ

Россия, 124460, Москва, Зеленоград,
просп. Георгиевский, д. 5, строен. 1

+7 (499) 479 12 39 +7 (499) 479 12 39 +7 (499) 479 77 24

Продукция «НПП «ЭСТО»

Жидкие процессы литографии

Установка Easyline S 200 TT с открытой чашей

Назначение:

Система предназначена для нанесения, отмывки, сушки и проявления фоторезиста. Производитель оборудования - Solar-semi GmbH.

Установка Quickstep 200 SM с открытой чашей и встроенной печкой

Назначение:

Система предназначена для нанесения, отмывки, сушки и проявления фоторезиста. Производитель оборудования - Solar-semi GmbH.

Установка Quickstep S 200 SMS для нанесения/проявления фоторезиста

Назначение:

Отдельно стоящая установка для нанесения/проявления фоторезиста с открытой чашей методом центрифугирования для пластин до 8” (200mm) и подложек до 6” x 6” (150 x 150mm). Производитель оборудования - Solar-semi GmbH.

Установка нанесения и проявления Microcluster Cabinet MC 204

Назначение:

Автоматическая система для нанесения фоторезистивных пленок методом центрифугирования и проявления пленок, сушка с помощью горячих плит для пластин диаметром до 300 мм или подложек размером 150х150 мм. Производитель оборудования - Solar-semi GmbH.

Автоматы для нанесения фоторезиста

Фоторезист относится к полимерным материалам, обладающим высокой светочувствительностью. Фоторезист наносится на пластину равномерным тонким слоем методом центрифугирования. Данный способ получения слоя заданной толщины относится к наиболее распространенным, но для литографии на подложках с уже произведенной топологией обычно применяют аэрозольный способ нанесения. Существуют также установки для нанесения твердого фоторезиста.

Чтобы избавиться от излишков растворителя, фоторезист необходимо просушить. Сушка производится в заданном для конкретного изделия режиме, обеспечивающем качественную литографию без дефектов.

Важнейшим этапом литографии принято считать проявление изображения. Оборудование для нанесения фоторезистов вы можете купить в компании «ЭСТО». О ценах и условиях поставки спрашивайте у наших менеджеров.

Ваша заявка принята!