ИНЖЕНЕРЫ
ДЛЯ ИНЖЕНЕРОВ

Россия, 124460, Москва, Зеленоград,
просп. Георгиевский, д. 5, строен. 1

+7 (499) 479 12 39 +7 (499) 479 12 39 +7 (499) 479 77 24

Продукция «НПП «ЭСТО»

Ионные имплантеры

Ионный имплантер IMX-3500, Япония

Назначение:

Система для введения атомов примесей в поверхностный слой пластины или эпитаксиальной пленки путем бомбардировки его поверхности пучком ионов c высокой энергией (10—200 кэВ). Производитель оборудования - ULVAC, INC, Япония.

Предлагаемые нами ионные имплантеры – это установки, разработанные специально для нужд исследовательских институтов и центров, а также промышленных линий массового производства. Имплантеры оборудованы системой для введения атомов примесей в поверхностный слой пластины или эпитаксиальной пленки путем бомбардировки его поверхности пучком ионов c высокой энергией (10—200 кэВ). Ионные имплантеры, которые вы можете купить у нас, отличает доступная цена и компактные размеры.

Ионный имплантер imx-3500, Япония

В стандартной комплектации 1 линия подачи газа. Возможно увеличение числа до 3-х линий. Высоконадежный блок ускорения луча и источник ионов, что доказано неоднократным тестированием. Станция состоит из небольшой камеры пластинодержателя и загрузочного шлюза. Более подробные характеристики ионных имплантеров вы можете найти в нашем каталоге.

Ваша заявка принята!