ИНЖЕНЕРЫ
ДЛЯ ИНЖЕНЕРОВ

Россия, 124460, Москва, Зеленоград,
просп. Георгиевский, д. 5, строен. 1

+7 (499) 479 12 39 +7 (499) 479 12 39 +7 (499) 479 77 24

Продукция «НПП «ЭСТО»

Для атомно-слоевого осаждения

ALD система PICOSUN R-200

Назначение:

Ручной или полуавтоматический технологический процесс для проведения исследований и разработок.

ALD система PICOSUN™ P-300

Назначение:

Инструменты для атомно-слоевого осаждения P-серии – автоматизированы, позволяют наносить пленки на множество подложек в час, если несколько реакторов P-серии объединены в единый кластерный инструмент с автоматической подачей образцов

Кластерная ALD система PICOSUN™ P-300S

Назначение:

Параллельное нанесение различных материалов, при этом обработка образцов происходит без прерывания вакуума.

Аппараты для получения пленок атомно-слоевым осаждением

Метод атомно-слоевого осаждения получил широкое распространение как технологический процесс, который обеспечивает быстрый конформный рост высококачественных тонких пленок на подложках большого размера. Суть метода атомно-слоевого осаждения заключается в раздельной попеременной подаче реагентов к подложке таким образом, что необходимые для роста пленок химические реакции протекают в хемосорбированных слоях, то есть, исключая реакции в газовой фазе.

Применяют атомно-слоевое осаждение для формирования различных оксидных, нитридных и металлических слоев, а также для получения высокоточных многослойных систем и нанокомпозитов. Все это используется в полупроводниковой промышленности и производстве интегральных схем.

Датчики МЭМС

В последнее время широкое распространение получили датчики, которые основаны на микроэлектромеханических системах (МЭМС). МЭМС — это интегрированные системы или микроустройства, которые комбинируют механические и электронные компоненты, изготовленные по современным технологиям, и имеющие размеры от миллиметров до микрометров.

Популярность устройств обуславливается простотой использования, низкой ценой и малыми габаритами. Обратившись в нашу компанию, вы можете приобрести установки для осаждения тонких пленок, нанесения покрытий, применяемых в МЭМС технологиях. У нас широкий ассортимент оборудования и выгодные условия реализации.

Ваша заявка принята!