ИНЖЕНЕРЫ
ДЛЯ ИНЖЕНЕРОВ

Россия, 124460, Москва, Зеленоград,
просп. Георгиевский, д. 5, строен. 1

+7 (499) 479 12 39 +7 (499) 479 12 39 +7 (499) 479 77 24

Продукция «НПП «ЭСТО» / Вакуумное

Отправить заявку

Установка Polyteknik электро-лучевого распыления Explorer 500 GLAD

Cryofox Explorer 500 GLAD представляет собой установку с двухмодульной конструкцией камеры, специально разработанной для использования метода осаждения при угле скольжения. Благодаря этому возможно производить осаждение четко ограниченных массивов наноструктур определенных размеров. Система оснащена небольшим загрузочным шлюзом с турбонасосом, что обеспечивает чрезвычайно краткое время откачки. Позиция подложки чрезвычайно точно контролируется в течение всего процесса осаждения. Расстояние от источника до подложкодержателя контролируется для каждого слоя, что повышает коэффициент полезного использования дорогостоящих материалов.

  • Двухмодульная конструкция камеры с загрузочным шлюзом
  • За один раз загружается одна 4-дюймовая (100 мм) подложка
  • Не более одного электронно-лучевого источника
Ваша заявка принята!