ИНЖЕНЕРЫ
ДЛЯ ИНЖЕНЕРОВ

Россия, 124460, Москва, Зеленоград,
просп. Георгиевский, д. 5, строен. 1

+7 (499) 479 12 39 +7 (499) 479 12 39 +7 (499) 479 77 24

Продукция «НПП «ЭСТО» / Для оптической литографии

Отправить заявку

ELS106SA

1. Габариты: 1040 мм (Д) x 900 мм (Ш) х 1650 мм
2. Размер маски: 4 х 4 дюйма, 7 х 7 дюймов
3. Размер подложки: от кусочков до 0 6 дюймов
4. Точность совмещения: ±1 мкм
5. Модуль:
- Лампа
- Держатель трафарета
- Зажимной патрон
- Анти-вибрационный стол
6. Участок экспонирования: 150 мм х 150 мм
7. Режим экспонирования:
- Вакуумный контакт
- Жесткий контакт
- Мягкий контакт
- С зазором
8. Система управления на базе ПК 
 
 
 
 
        Лампа
 
■ Высокая интенсивность и однородность
Ватт  Интенсивность Однородность
250 Вт 16 МВт/см2 < 5% для пластины 6 дюймов
500 Вт 40 МВт/см2 <3% для пластины 4 дюйма
 
■ Участок экспонирования: 150 мм х 150 мм
 
Опции:
Встроенная лучевая обработка: 0~999 МДж/см2
Оптический фильтр: 365 нм / 400 нм (автоматическое переключение) 
 
 
Зона выравнивания - Верхняя сторона
 
Блок Привод Диапазон Разрешение
Ось Х Ручной ±35 мм -
Ось Y

Двигатель 

 

Ручной (настройка)

+82,5 мм / -37,5 мм

+20 мм / -10 мм

1 мкм

 

-

Ось Z Ручной ±6 мм 1 мкм
Двойной ход CDD камеры
Трубка масштабирования
0,7 X~4,5 X.
Объектив: 5X
Зона просмотра:
4,56 мм x 3,42 мм ~
0,72 мм x 0,54 мм
Точность совмещения: ±1 мкм
Функция памяти: После заверше ния обработки 1 пластины, CCD камера запоминает положение. Оператор вносит минимальные поправки для сокращения време ни обработки.
 
Зона выравнивания - Нижняя сторона
 
Пункт Привод Диапазон Разрешение
Ось Х Двигатель ±20 мм -
Ось Y Двигатель ±5 мм 1 мкм
Ось Z Двигатель ±2 мм 1 мкм
 
Модель ELS106SA-B'
Трубка масштабирования 4X (опция)
Зона просмотра: 1,06 мм x0,8 мм
Точность совмещения: ±3 мкм
■ Процесс обработки: Загрузка маски - определение основных точек сове- мещения - загрузка в память - совмещение - экспонирование - выгрузка пластины.
 
Координатный стол
 
Пункт Привод Диапазон Разрешение
Ось Х Ручной ±5 мм 1 мкм
Ось Y Ручной ±5 мм 1 мкм
Ось Z Сервопривод переменного тока 0-1000мкм 1 мкм
6 осей Ручной ±5 мм 0,0001 °
■ Держатель трафарета Маска удерживается при помощи вакуума
■ Зажим: необходима замена зажима при изменении размера пластины
■ Ось Z Сервопривод переменного тока с весовым датчиком, использование
контактного давления для выравнивания. Обеспечивает точное расположение каждой пластины. 
 
 
 
Ваша заявка принята!