ИНЖЕНЕРЫ
ДЛЯ ИНЖЕНЕРОВ

Россия, 124460, Москва, Зеленоград,
просп. Георгиевский, д. 5, строен. 1

+7 (499) 479 12 39 +7 (499) 479 12 39 +7 (499) 479 77 24

Продукция «НПП «ЭСТО» / Для оптической литографии

Отправить заявку

ELS106FA

Общие технические характеристики:
1. Размер: 1650 мм (Д) x 1150 мм (Ш) x 2000 мм (В)
2. Размер маски: 4” x 4” ~ 7” x 7”
3. Размер подложки: 02 ~ 6 дюйма
4. Точность совмещения: ±2 мкм
5. Тактовое время: 36 с/шт.
6. Экспонирующий луч: 150x150 мм
7. Модуль:
-Загрузка/Разгрузка: 2 кассеты
-Робот с двумя манипуляторами
-Блок предварительного выравнивания
-Устройство совмещения и экспонирования
-УФ лампа
8. Функция:
-Автоматическая загрузка/разгрузка
-Автоматическое совмещение
9. Режим экспонирования: вакуумный/ жесткий / мягкий контакт, с зазором
10. Управление системой: на базе ПК
 
 
 
 
 
 
Устройство загрузки / устройство разгрузки
 
Технические характеристики:
1. Подложка: 0 4 и 6 дюймов
2. Загрузка/Разгрузка: автоматическое перемещение
3. Кассета:
     - Количество: 2 кассеты
     - Наклон кассеты: 4,76 мм
     - Подтверждение наличия пластины: помощью датчика предельного перемещения
     - Изменение кассеты согласно рецепту
4. Изменяемый размер подложки: по заказу
 
Робот
 
Технические характеристики:
1. Робот с двумя манипуляторами
2. Класс чистоты: класс 10
3. Крепление подложки: вакуумом к обратной стороне подложки
4. Повторяемость: ±0,1 мм
5. Полезная нагрузка: 1 кг/1 манипулятор
(включая собственный вес)
6. Рабочие температуры: 10 °C ~40°C
 
Устройство предварительного совмещения
 
 
Технические характеристики:
1. Подложка: 0 4 и 6 дюймов
2. Повторяемость: <±100 мкм
3. Стандарт: тип механизма - устройство предварительного совмещения и экспонирования.
Вариант:
Оптическое устройство совмещения
1. Подложка: 0 4 - 6 дюймов
2. Повторяемость:
Линейная: ±0,025 мм Угловая: ±0,04 градуса
 
Лампа 
 
Технические характеристики:
1. Лампа: 250 Вт / ртутная электродуговая лампа
2. Площадь экспонирования: 150 мм х 150 мм
3. Основная длина волны:
Волна  Интенсивность Равномерность
365нм >16 мВт/см2 >40 мВт/см2   В пределах ±3% (для диаметра 4 дюйма)
4. Интегрированная экспозиция энергии излучения: 0~999 мДж/см2.
5. Фильтр: опция.
 
Устройство совмещения и экспонирования
 
 
Технические характеристики:
1. Подложка: 0 4 и 6 дюймов
2. Маска: 5x5 - 7x7 дюймов
3. Тактовое время: 36 с/шт.
4. Держатель маски: автоматическое регулирование положения маски с помощью рецепта
5. Отслеживает контактное давление маски и подложки для обеспечения выполнения экспонирования
6. Функция экспонирования:
      - Мягкий контакт
      - Жесткий контакт
      - Вакуумный контакт
      - С зазором: зазор 1~300 мм 
 
Ваша заявка принята!