ИНЖЕНЕРЫ
ДЛЯ ИНЖЕНЕРОВ

Россия, 124460, Москва, Зеленоград,
просп. Георгиевский, д. 5, строен. 1

+7 (499) 479 12 39 +7 (499) 479 12 39 +7 (499) 479 77 24

Продукция «НПП «ЭСТО» / Вакуумное

Отправить заявку

ei-5

Испарительная установка

Это системы высокого вакуумного испарения пакетного типа для осаждения металла и оксида на подложке. В панели управления этой системы имеется встроенная функция контроля, которая реализует автоматизированный вакуум и процесс осаждения, рекомендуется для R&D применений, а также для мелкосерийного производства.
  • Малая занимаемая площадь
  • Простота инсталляции и эксплуатации
  • Простое управление и высокая производительность
  • Простота обслуживания
Характеристики:
  • Поддержка различных источников испарения (EB, RH, EB + RH и т.д.).
  • Держатели подложек соответствующие каждому процессу (планетарные, спутниковые и т.д.).
  • Обработка различных подложек; размеры подложек от 2 до 6 дюймов, прямоугольные подложки, Si, соединений, стекла и керамики.
  • Отображение и управление на сенсорном ЖК-мониторе
  • Улучшенная система управления и функционалом (рецепты, регистрация данных, функция сервисной помощи).

 

 

Применение:

  • Силовые приборы
  • LED, LD и высокоскоростные устройства
  • Различные R & D
  • Другие общие электронные устройства

 

Типы держателей

 

Тип

Размер, мм

Типы держателя

2

3”

4”

5”

6”

8”

Ei-501

Планетарный

D550/R395

Плита

 213

108

60

39

24

 

Вставка

204

 105

 57

 39

 24

15

Вращательный

D700/R700

Плита

           

Вставка

 93

 38

 26

 

9

 

 

                                                        Планетарный                                 Вращательный
 
                   
 
Спецификация и опции.
Спецификация
Источник испарения (ЕВ источник)
 
Для металлов
40cc × 4pockets EGL-35M ) : 10kW P/S
40cc × 6pockets EGL-406M ) : 10kW P/S 
110cc × 4pockets EGL-80M ) : 16kW P/S
110cc × 1pockets EGL-110M ) : 16kW P/S   etc.
Для оксидов
40cc × 4pockets EGO-40M ): 10kW P/S
 
Опции.
 
Типы газов
Ar, O2
Источник испарения
2 электронные пушки
Ионная пушка
Mark 1 (производство Veeco)
 
Спецификация.
 
Подложки
Материал
Размер
Si, GaAs, GaN, Стекло, керамика и др.
d50 – 200мм, другие различные формы
2. Вакуумная система
Главный насос
Предельное давление
Время откачки
Крионасос
3.0×10-5 Па или лучше
В течение 20min to 3.0×10-4 Па
3. Напыление
Источник испарения
Держатель подложек
Однородность плёнки по толщине
SS расстояние
Электронная пушка (10кВт), R/H / Source shutter
Вращательный / Планетарный
d50 - 200mm. ±5% или лучше
680мм
4. Нагрев подложек
Инфракрасная лампа нагрева. Tmax = 350 0C
5. Управление
Сенсорная панель управления PC & PLC
6. Подключение
Электричество
Водяное охлаждение
Воздух
N2 газ
Заземление
AC200V, d3, 50/60 Hz, 50~60kVA
27 л/мин
0.4 0.7 MПaс регулятором)
0.050.15 MПa для VENT  регенерации крионасоса
Тип A & D (JEM,JEC)
 
Ваша заявка принята!