ИНЖЕНЕРЫ
ДЛЯ ИНЖЕНЕРОВ

Россия, 124460, Москва, Зеленоград,
просп. Георгиевский, д. 5, строен. 1

+7 (499) 479 12 39 +7 (499) 479 12 39 +7 (499) 479 77 24

Продукция «НПП «ЭСТО» / Для атомно-слоевого осаждения

Отправить заявку

ALD система PICOSUN™ P-300

Инструменты для АСО PICOSUN® P-серии и PICOBATCH™ определяют новую эпоху в нанесении нанопленок методом АСО в промышленных масштабах. Инструменты для АСО P-серии – полностью автоматизированы и с их помощью возможно нанесение пленок на сотни или даже тысячи подложек в час, в том случае,если несколько реакторов P-серии объединены вместе в единый кластерный инструмент с автоматической подачей образцов и оборудованы системой PICOBATCH™. Инструменты Picosun для технологического процесса АСО хорошо известны тем, что их универсальный дизайн позволяет беспрепятственно внедрять результаты исследований в производство. PICOSUN® P-серия АСО инструментов является отличным примером такого подхода, представляя собой безопасный, надежный, универсальный, уникальный, масштабируемый до большого объема АСО производства инструмент.

Установки P-серии удовлетворяют высочайшим стандартам качества и воспроизводимости при производстве в промышленных масштабах. Были получены превосходная однородность плёнок в пределах одной серии  (стандартное отклонение толщины < 1 % для пленок Al2O3 для 300-мм кремниевых подложек), и уровень примесных частиц 1-2 примесные частицы (>70 нм) на подложку. 


 

Данные клиента по технологическому процессу Al2O3 с использованием PICOSUNTM P-300B при пакетной (серийной) обработке подложек

 

Требуемое значение

Измеренное значение

Неоднородность толщины в пределах одной подложки

< 1 % 1σ

0.51 % 1σ

Неоднородность толщины в пределах одной серии

< 1 % 1σ

0.80 % 1σ

Разброс скорости осаждения от серии к серии

< 1 % 1σ

0.18 % 1σ

Количество примесных частиц на подложку (>70 нм)

< 8

1-2

Показатель преломления (для 190 нм)

>1.86

>1.864

Отслаивание пленки или образование микроканалов после травления HF

нет

нет

Механическое напряжение пленки

< 200 МПа

< 200 МПа

Загрязнение щелочью

< 1010 атомов/см2

< 0.02·1010 атомов/см2

Среднее время между загрузками (MTTM) < 4 часов

 

 

Среднее время между техническими обслуживаниями (MTBM) > 6 месяцев

 

 

Коэффициент непрерывной работы > 0.9

 

 

 

Установка для АСО плёнок PICOSUN P-300S

Технические характеристики

Основные характеристики

Тип и размер подложки

Одиночные подложки диаметром до 300 мм

Трехмерные объекты, например сталь, алюминий, пластик, серебряные украшения

Порошки и подложки, содержащие частицы

Микроканальные пластины и сквозные пористые подложки

Подложки, имеющие структуры со сверхвысоким соотношением геометрических размеров (1000:1)

Рабочая температура

50 – 500 °C

Возможные варианты загрузки

Пневматическая загрузка, загрузка с помощью роботизированного манипулятора

Прекурсоры

Жидкие, твердотельные, газообразные, озон

 

Сенсоры уровня, сервис очистки и заправки

 

До 12 источников с 6 отдельными вводами

Вес и размеры

Вес

350 + 200 кг

Размеры (Ш x В x Г)

149 см x 191 см x 111 см

Вспомогательные системы

Источник питания

400 VAC, трехфазное с нейтралью или 200-210 В, трехфазное, 50/60 Гц

Предохранители 3 x 16 А

Потребляемая мощность зависит от дополнительного оборудования

Вакуумный насос

Рекомендация мин. 420 м3/час, механическая ловушка частиц и дожигатель включены

Несущий газ

99.999 % N2 / Ar, мин 2 стд.л/мин

Сжатый сухой воздух

5 – 6 бар избыточного давления

Охлаждающая вода

Требуется только для безмасляного вакуумного насоса и генератора озона, для реактора не требуется

Выхлоп

Необходим для вакуумного насоса, шкафов с источниками

Дополнительное оборудование

Кластерные инструменты, интеграция со сверхвысоким вакуумом (UHV), модули автоматической загрузки, газоочистные устройства, охладители, генераторы азота, возможность подключения к ПО хоста заказчика, совместимость с перчаточным ящиком для загрузки из инертной среды

 

Установка для АСО плёнок PICOSUN P-300В

Технические характеристики

Основные характеристики

Тип и размер подложки

300-мм подложки в партии (серии) по 10 подложек/загрузка (станд-ное расстояние между подложками)

200-мм подложки в партии (серии) по 25 подложек/загрузка (станд-ное расстояние между подложками)

156мм х 156мм кремниевые подложки для фотовольтаики в партии (серии) по 100/200 подложек/загрузка (обе стороны/одна сторона)

До 300мм х 300мм стеклянные подложки в партии (серии) по 10/20 подложек/загрузка (обе стороны/одна сторона)

Трехмерные объекты, например сталь, алюминий, пластик, серебряные украшения

Порошки и подложки, содержащие частицы

Микроканальные пластины и сквозные пористые подложки

Подложки, имеющие структуры со сверхвысоким соотношением геометрических размеров (1000:1)

Рабочая температура

50 – 500 °C

Возможные варианты загрузки

Пневматическая загрузка, загрузка с помощью роботизированного манипулятора

Прекурсоры

Жидкие, твердотельные, газообразные, озон

Сенсоры уровня, сервис очистки и заправки

До 6 источников с 4 отдельными вводами

Вес и размеры

Вес

400 + 300 кг

Размеры (Ш x В x Г)

149 см x 191 см x 111 см

Вспомогательные системы

Источник питания

400 VAC, трехфазное с нейтралью или 200-210 В, трехфазное, 50/60 Гц

Предохранители 3 x 16 А

Потребляемая мощность зависит от дополнительного оборудования

Вакуумный насос

Рекомендация мин. 420 м3/час, механическая ловушка частиц и дожигатель включены

Несущий газ

99.999 % N2 / Ar, мин 2 стд.л/мин

Сжатый сухой воздух

5 – 6 бар избыточного давления

Охлаждающая вода

Требуется только для безмасляного вакуумного насоса и генератора озона, для реактора не требуется

Выхлоп

Необходим для вакуумного насоса, шкафов с источниками

Дополнительное оборудование

Кластерные инструменты, модули автоматической загрузки, газоочистные устройства, охладители, генераторы азота, возможность подключения к ПО хоста заказчика, совместимость с перчаточным ящиком для загрузки из инертной среды

Ваша заявка принята!