ИНЖЕНЕРЫ
ДЛЯ ИНЖЕНЕРОВ

Россия, 124460, Москва, Зеленоград,
просп. Георгиевский, д. 5, строен. 1

+7 (499) 479 12 39 +7 (499) 479 12 39 +7 (499) 479 77 24

Продукция «НПП «ЭСТО» / Вакуумное оборудование

Отправить заявку

Caroline IE12

НАЗНАЧЕНИЕ:
 
Установка «Caroline IE12» – полностью автоматизированная вакуумно-технологическая установка предназначена для травления тонких слоев резистивных сплавов, металлов и диэлектриков на керамических, кремниевых и любых плоских (толщина не более 30 мм.) подложках размером до Ø 150 мм. (максимальная плоскость обрабатываемых деталей 150х320 мм.). 
Установка имеет два вертикально установленных протяженных ионных источника с размером ионного луча по вертикали 350 мм. и может быть использована для травления через фоторезистивную или металлическую маску.
 
УСТАНОВКА ОБЕСПЕЧИВАЕТ:
 
  • стабилизацию заданного расхода технологических газов по двум каналам и контроль расхода газа по каждому каналу;
  • вертикальное расположение ионных источников и изделий на вращающемся барабане;
  • автоматическое выполнение программ «от загрузки до разгрузки»;
  • автоматическое окончание травления пленок по заданному времени;
  • размещение изделий на легко снимаемых с барабана носителях с целью сокращения времени загрузки и выгрузки;
  • вакуумная камера установки снабжена прямоугольной дверью большого размера для удобства обслуживания;
  • в стандартной комплектации в установке в качестве высоковакуумного насоса используется криогенный насос, который может быть заменен на турбомолекулярный или паромасляный насос (опция);
  • по желанию Заказчика возможно размещение других узлов травления пленок, дополнительных нагревателей, измерителей и т.д., если позволяют габариты камеры (опция).
УСЛОВИЯ ЭКСПЛУАТАЦИИ:
 
Установка предназначена для работы при температуре 15÷30˚ С относительно влажности 65±15%, атмосферном давлении 9,9х104 Па (750 ±30 мм.рт.ст.). 
Питание установки осуществляется от трехфазной четырехпроводной сети с нулевым проводом переменного тока напряжением 380 В ± 10%, частотой 50 Гц. Максимальный потребляемый установкой ток по фазам не более 50А.
 
Установка обеспечивает работу при подаче в нее:
 
  • холодной воды с температурой 5÷20˚С под давлением (4÷5 кгс/см.2) с расходом 0,6 м3/час, также необходимо подвести к установке линию слива охлаждающей воды диаметром не менее 20 мм.;
  • сжатого воздуха под давлением 4÷6 кгс/см.2;
  • кислорода газообразного под давлением 1÷1,5 кг/см.2, аргона газообразного марки «особо чистый» под давлением 1÷1,5 кг/см.2, азота газообразного марки «особо чистый» под давлением 1÷1,5 кг/см.2
Необходимо подвести к установке линию слива охлаждающей воды диаметром не менее 20 мм.
 
Установка поставляется с автоматизированной управляющей и тестовой технологической программами либо на лабораторной базе Исполнителя под технологию Заказчика может быть произведена отработка технологии с последующим переносом её на заказанную установку.
 
На установке реализованы следующие технологии:
 
  • травление резистивных пленок из материалов типа РС – 3710; РС – 5406; РС-1004;
  • травление пленок титана и тантала, их оксидов и нитридов;
  • травление металла, в том числе золота или меди;
  • травление двуокиси кремния и нитрида кремния;
  • травление диэлектрических слоёв;
  • травление любых материалов распылением ионами аргона.
Ваша заявка принята!